Neste trabalho, filmes finos de carbono tipo diamante foram depositados em substratos de aço ferramenta AISI D6 por meio da técnica de deposição a plasma com gaiola catódica de grafita, com o objetivo de avaliar a influência dos parâmetros de tratamento, tais como a duração do tratamento e a polarização das amostras. As amostras tratadas foram avaliadas em termos de morfologia e estrutura por Difração de raios-X (DRX), Espectroscopia Raman e Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV). Assim, a análise por DRX demonstrou que nas amostras tratadas com alumina durante menos tempo, 4 e 5 horas, surgiram novos picos característicos de grafite e diamante com maior intensidade, porém quando não foi utilizado a alumina, apresentaram menor intensidade para os picos de ferrita (α-Fe) e também o surgimento de um pico de grafite hexagonal (G-2H). A Espectroscopia Raman apresentou algumas bandas D e G referentes ao grafite em todas as amostras, os tratamentos que não utilizaram alumina, apresentaram mais ligações sp3 características de filmes DLC. Já pelo MEV foi possível observar que os filmes tratados com alumina apresentaram aspecto mais rugoso com espaços vazios nas microestruturas, já os tratados sem alumina, apresentaram menor rugosidade e aspecto mais uniforme das partículas, indicando maior difusão. No entanto, quando se pretende alcançar uma maior camada de filme, os tratamentos com alumina apresentaram resultados mais expressivos, pois as camadas ficaram mais espessas.